高真空检漏仪，在将样品放进电镜前，仔细检验样品芯片安放是否存在泄露是必要的，这可以提高原位样品台的使用效率，保护透射电镜。该设备是专门用于TEM样品台真空储存和密封检查。它能够在5min内将系统内真空度抽至10^(-5)mBar，即TEM内的真空环境。搭配的超高分辨数字显微系统，自带13寸显示器及自动变焦功能，放大倍率达800X， 分辨率达1微米。研究人员可轻松完成液体池或气体池的密封性、完整性检查。并可观察芯片窗体是否破裂或者污染，检验样品在窗体分布情况。
高真空检漏仪的用途：
该设备是专门用于TEM样品台真空储存和密封检查。它能够在5min内将系统内真空度抽至10^(-5)mBar，即TEM内的真空环境。搭配的超高分辨数字显微系统，自带13寸显示器及自动变焦功能，放大倍率达800X， 分辨率达1微米。研究人员可轻松完成液体池或气体池的密封性、完整性检查。并可观察芯片窗体是否破裂或者污染，检验样品在窗体分布情况。
高真空检漏仪的测试原理：
主要应用干燥的压缩空气为介质的半自动或全自动气密性检测中，对被测工件充气加压（或负压）并确定所充气体是否泄漏。当工件和压缩空气气源切断后，如果被测物发生泄漏，则测试压力必然要发生变化，我们要测量的便是这个压力变化。通过计算被测物压力变化，来完成生产线上的被测产品的良莠判定。
