高真空检漏仪是专门用于
TEM
样品台真空储存和密封检查的仪器。它能够在
5min
内将系统内真空度抽至
10^(-5)mBar
，即
TEM
内的真空环境。超新芯提供的高真空检漏仪搭配有超高分辨数字显微系统，自带
13
寸显示器及自动变焦功能，放大倍率达
800X
，分辨率达
1
微米。研究人员可轻松完成液体池或气体池的密封性、完整性检查。并可观察芯片窗体是否破裂或者污染，检验样品在窗体分布情况。
高真空检漏仪的优势：
采用高分辨显微镜平台，xy轴微运动集成，以及高分辨电子相机和显示屏，*契合电镜使用，具有*的直接压力分辨率和泄漏检测灵敏度，并具有强大的扩展输入和输出、多通道参数设置和选择、大容量记录和存储、通信处理、质量检测、数据传输的功能等等。检测灵敏度高，位置准确，操作便捷。
