扫描电镜全称扫描电子显微镜，简称SEM，是一种超高速、高分辨、全自动、快速成像、场发射电子显微分析设备，是根据电子光学原理，用聚焦很细的电子束照射到要检测的样品表面，电子束与样品相互作用产生各种信息，使物质的细微结构在非常高的放大倍数下成像的仪器。
SEM加热样品台可用于电镜样品在不同的高温条件下的结构表征。具体功能如下：
1、采用四电极反馈控制系统对加热区域的样品进行精准均匀、安全控温；
2、高精度、高频反馈控温模式，具有实时温度控制及精确测量功能，内置绝对温标，并可软件自动标定，对任一芯片的每次升温过程进行自动校正和模拟出*优的升 温曲线，而非统计学的拟合曲线加热，能更好地反映热场实情并可自定义程序升 温曲线，设置升温速度，确保每片芯片每次测量温度的精确性，不受使用次数的 影响而降低，保证高温实验的重复性及可靠性；
3、超薄氮化硅膜(10 nm，25 nm，50 nm)，不会影响电子信号采集；
4、观测区域全覆盖；
5、升温快、温度场稳定且均匀，升温过程样品几乎无漂移；
6、
SEM加热样品台
的加热芯片温度范围RT~1300℃，以及准确的控温技术可满足大多数科学研究的需求。
