本公司提供的透射电镜力电原位系统是通过MEMS芯片在原位样品台内构建力、电复合多场自动控制及反馈测量系统，结合EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多种不同模式，实现从纳米层面实时、动态监测样品在真空环境下随电场、施加力变化产生的微观结构、相变、元素价态、微观应力以及表/界面处的结构和成分演化等关键信息。
透射电镜力电原位系统的优势：
1、力学性能
（1）高精度压电陶瓷驱动，纳米级别精度数字化精确定位。
（2）可进行压缩、拉伸、弯曲等微观力学性能测试。
（3）nN级力学测量噪音。
（4）具备连续的载荷-位移-时间数据实时自动收集功能。
（5）具备恒定载荷、恒定位移、循环加载控制功能，适用于材料的蠕变特性、应力松弛、疲劳性能研究。
2、优异的电学性能
（1）芯片表面的保护性涂层保证电学测量的低噪音和精确性，电流测量精度可达皮安级。
（2）MEMS微加工特殊设计，电场和力学加载同时进行，相互独立控制。
3、智能化软件
（1）人机分离，软件远程控制纳米探针运动。
（2）自动测量载荷-位移数据。
