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扫描电镜加热原位系统通过MEMS芯片对样品施加热场控制,在原位样品台内构建热场自动控制及反馈测量系统,结合EDS、EBSD等多种测试模式,实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在真空环境下随温度变化产生的微观结构、相变、元素价态、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。
扫描电镜液体热电原位系统采用MEMS微加工工艺在原位样品台内构建液氛纳米实验室,通过MEMS芯片对薄层或纳米电 池系统施加热场和电信号等,结合使用EDS等多种不同模式,实现从纳米层面实时、动态监测电极、电解液及其界面在液氛 环境中随温度、电信号变化产生的微观结构演化、反应动力学、相变、化学变化、表/界面处的结构和成分演化等关键信息。
透射电镜双倾探针电学原位系统通过纳米探针对样品施加电场控制,结合EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多种不同模式,实现从纳米层面实时、动态监测样品在真空环境下随电场变化产生的微观结构、相变、元素价态、微观应力以及表/界面处的结构和成分演化等关键信息。
透射电镜力电原位系统通过MEMS芯片在原位样品台内构建力、电复合多场自动控制及反馈测量系统,结合EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多种不同模式,实现从纳米层面实时、动态监测样品在真空环境下随电场、施加力变化产生的微观结构、相变、元素价态、微观应力以及表/界面处的结构和成分演化等关键信息。