扫描电镜液体电化学原位系统通过MEMS芯片对薄层或纳米电池系统施加电信号等，结合EDS等多种不同模式，实现从纳米层面实时、动态监测电极、电解液及其界面在工况下的微观结构演化、反应动力学、相变、化学变化、表/界面处的结构和成分演化等关键信息。

扫描电镜液体热电原位系统采用MEMS微加工工艺在原位样品台内构建液氛纳米实验室，通过MEMS芯片对薄层或纳米电 池系统施加热场和电信号等，结合使用EDS等多种不同模式，实现从纳米层面实时、动态监测电极、电解液及其界面在液氛 环境中随温度、电信号变化产生的微观结构演化、反应动力学、相变、化学变化、表/界面处的结构和成分演化等关键信息。