扫描电镜高温力学原位系统通过MEMS芯片在原位样品台内构建力、热复合多场自动控制及反 馈测量系统，结合EDS、EBSD等多种不同模式，实现从纳米层面实 时、动态监测样品在真空环境下随温度、施加力变化产生的微观结构 演化、相变、元素价态、微观应力以及表/界面处的结构和成分演化等 关键信息。