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扫描电镜加热原位系统通过MEMS芯片对样品施加热场控制,在原位样品台内构建热场自动控制及反馈测量系统,结合EDS、EBSD等多种测试模式,实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在真空环境下随温度变化产生的微观结构、相变、元素价态、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。